伺服減速器合理的利用了內嚙合。充分利用內嚙合承載能力高和內齒輪（或內齒圈）的空間容積，從而縮小了徑向、軸向尺寸，使結構很緊湊而承載能力又很高。行星齒輪的套數。由于一套行星齒輪無法滿足較大的傳動比，有時需要二套或三套來滿足用戶對較大傳動比的要求。