造成伺服減速機齒輪振動故障的主要原因如下：

1.伺服減速機齒輪制造和安裝誤差引起的故障。齒輪在制造過程中存在誤差或由于裝配過程中產生的誤差，降低了齒輪的嚙合精度，導致齒輪的振動和噪聲增大，增大了齒輪的故障率。

2.齒輪自身固有運動（工作環境）引起的故障，齒輪在嚙合過程中，齒與齒連續沖擊使齒輪產生受迫振動，產生噪聲，在頻譜圖上表現為齒輪的嚙合頻率。

3.齒輪表面損傷故障，齒面磨損，齒輪由于齒面剝落，拉傷等缺陷發展到一定程度時，齒輪每轉 ， 圈就會相互撞擊1 次，產生明顯的沖擊現象.每一次撞擊相當于1 個脈沖激勵，脈沖響應函數為齒輪固有的衰減振動，從而構成了周期性較高頻率的沖擊振動信號，循環周期就是軸的旋轉周期，衰減振動頻率就是齒輪的固有頻率。

4.軸彎曲，旋轉軸當出現重度彎曲時，時域中通常會明顯地出現以一定時間為間隔的沖擊振動，邊帶數量多且密集。維護與維修。

5.齒輪箱內部松動，在轉速較低的升速與降速過程中會出現突然隨機劇烈聲響，在時域圖上表現為突然大幅度斷續上升，具有較大的隨機性。

6.伺服減速機齒輪動不平衡，具有不平衡質量，或者偏心的齒輪在轉動過程中造成齒輪副的不穩定運行，在該不平衡力矩的激勵下，產生以調頻為主，調幅為輔的振動，將在嚙合頻率及其諧波兩側產生邊頻帶。