伺服精密行星減速機的結構是由一個內齒環緊密結合於齒箱殼體上，環齒中心有一個來自外部的動力所驅動的太陽齒輪，介於兩者之間有一組由三顆齒輪等分組合於托盤上之行星齒輪組，這組行星齒輪是依靠著出力軸、內齒環以及太陽齒輪來支撐浮游於期間；當外側的動力驅動太陽齒輪時，可以帶動行星齒輪自轉，并依循著內齒環的軌跡沿著中心公轉，行星的旋轉帶動連結于托盤的出力軸輸出動力。

 

伺服精密行星減速機上下殼體結合面的密封是減速機主要的靜密封點，結合面的光潔度及螺栓的緊固直接關系到結合面是否泄漏。由于密封點兩側的壓力差，飛濺的潤滑油經軸承后無法及時流回行星減速機的下殼體，都集中在軸承與端蓋之間，經軸面及端蓋槽向外泄漏。所以油不能及時回流下殼體和端蓋的密封不嚴是造成動密封點泄漏的原因，又由于此處軸處于轉動狀態，使之成為難以解決的泄漏點。